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14:55:19【芯碁微装:板级封装直写光刻设备获得先进封装客户订单】
《科创板日报》3日讯,芯碁微装今日宣布,近日其自主研发的国内首台510×515mm板级封装直写光刻设备PLP2000,成功获得先进封装领域重要客户订单。PLP2000专为大尺寸板级封装应用场景开发,最大可支持600×600mm板级加工尺寸,能够满足CoPoS、玻璃基板、FOPLP等先进封装工艺对2μm量产解析能力的要求。该装备在大幅面曝光、图形解析、面板均匀性和整板一致性等方面进行系统化设计,可有效保障大尺寸基板加工过程中的工艺稳定性。
芯碁微装+2.63%
先进封装 光刻机 玻璃基板 半导体芯片
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2026-07-03 14:55:19 1151428 阅读
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