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14:03:07【市场监管总局:1到11月批准发布85项国家标准物质支撑“双碳”和精密制造】
财联社12月9日电,记者今天了解到,今年1到11月,市场监管总局新批准发布85项服务“双碳”工作和精密制造产业发展的国家标准物质,为提高碳测量数据和精密制造测量数据精准性提供有力支撑。在服务精密制造产业发展方面,批准发布高纯氮、高纯氧等13项电子气体国家标准物质。在半导体器件制造过程中,高纯度电子气体标准物质可用于清洗、刻蚀、沉积等多个关键环节,确保晶圆的纯净度和性能。在集成电路生产过程中,高纯度电子气体标准物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥着重要作用,保障集成电路的稳定性和可靠性。 (央视新闻)
半导体芯片
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2025-12-09 14:03:07 2455188 阅读
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