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17:47:12【国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备出机】
《科创板日报》15日讯,据无锡日报,国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备今日在无锡成功出机。据介绍,此次出机的设备由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制,在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研。
半导体设备
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2025-08-15 17:47:12 2633783 阅读
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