①中微公司预计2025年半年度营业收入约49.61亿元,同比增长约43.88%;预计实现归母净利润6.8亿元到7.3亿元,同比增加31.61%到41.28%; ②中微公司表示,今年其针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升。
财联社11月28日讯,上海微电子装备(集团)股份有限公司(下文简称:上海微电子)今日公开了其最新的光刻机相关专利。
据天眼查显示,上海微电子公开的专利名为“投影物镜光学系统及光刻机”。
该专利摘要显示,本发明提供了一种投影物镜光学系统及光刻机,所述投影物镜光学系统沿其光轴方向从物面到像面依次包括:第一透镜组、第二透镜组、光阑、第三透镜组与第四透镜组。
其中,所述第三透镜组与所述第二透镜组关于所述光阑对称,所述第四透镜组与所述第一透镜组关于所述光阑对称,所述投影物镜光学系统是对称结构,且所述投影物镜光学系统中所有的透镜组均具有正光焦度,以此可以在提高成像质量的基础上,增大曝光系统的视场尺寸,提升产率。
从上海微电子的主要股东信息来看,A股上市公司上海电气持有公司42.3%的股份,张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有公司14.21%股份,