《科创板日报》10日讯,台积电将于9月底前引进其首台高数值孔径极紫外(High-NA EUV)光刻机,据悉,此次购入价格远低于原定3.5亿欧元(约27.47亿人民币)的单台报价。
《科创板日报》9日讯,业界传出,台积电首台ASML High NA EUV光刻系统设备传本月将进机,由于该款逾4亿欧元设备且因光镜头镜片无法分拆入厂,高度比一间会议室还高且长度也远超前一代设备,因规格特殊且精密,恐须机场或港口联通的高速公路交管或特定深夜运送入厂避免交通不顺。对于业界传闻,ASML今日提到不评论单一客户。台积电则表示不回应市场传闻。
《科创板日报》6日讯,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)在官网发布声明称,荷兰政府今日公布了浸润式DUV光刻机出口新规,自9月7日起生效。这意味着,ASML需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运TWINSCAN NXT:1970i和1980i DUV光刻机。此前,ASML最先进的浸润式DUV光刻机(即TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式DUV光刻机)已被限制,需要荷兰许可证才能发运。此外,ASML EUV光刻机的销售也需要许可证。
财联社9月5日电,荷兰计算机芯片设备供应商ASML首席执行官Christophe Fouquet当地时间9月4日在花旗银行的一场会议上表示,美国限制ASML对华出口是出于“经济动机”。他预计该公司应对出口限制的反击措施将会增加。
①三星正在测试由东京电子提供的GCB设备,旨在改进其EUV光刻工艺; ②近年来随着工艺制程不断发展,EUV光刻成本持续攀升; ③在此背景下,包括东京电子、应用材料在内的设备厂商持续推出新技术以实现降本增效。
《科创板日报》19日讯,SK海力士EUV材料技术人员表示,该企业计划于2026年首次导入ASML的High NA EUV光刻机。SK海力士新近成立了一个High NA EUV研发团队,正致力于将High NA EUV光刻技术应用到最先进DRAM内存的生产上。
《科创板日报》16日讯,三星计划在今年年底或2025年第一季度引入其首台High-NA EUV光刻机“EXE:5000”,预计该设备将用于晶圆代工业务。目前,ASML仅制造了8台EXE:5000设备,其中多台已经被英特尔公司预定。
《科创板日报》7日讯,荷兰国家应用科学研究院Stodolna等提出了一种能够产生氢等离子体的实验装置,以便进一步研究改进EUV光刻。之前的等离子体发生器非常复杂,需要大量资源,但该团队的装置非常简单,使用机的是市场上可买到的技术。他们的装置主要依靠高压、大电流电子束枪,该电子束枪可以产生短电子脉冲,通过电子撞击电离产生等离子体。在测试中,它能够再现EUV生成等离子体的关键参数。
财联社8月2日电,据日本冲绳科学技术大学院大学(OIST)官网最新报告,该校设计了一种极紫外(EUV)光刻技术,超越了半导体制造业的标准界限。基于此设计的光刻设备可采用更小的EUV光源,其功耗还不到传统EUV光刻机的十分之一,从而降低成本并大幅提高机器的可靠性和使用寿命。
《科创板日报》29日讯,半导体设备行业人士援引台积电制定的路线图指出,台积电A14制程将于2026年上半进行风险试产,最快2027年第3季量产,量产初期仍主要采用ASML第三代标准型EUV设备NXE:3800E。预计在2028年,A14制程的改良升级版A14P,将正式采用High-NA EUV,而在2030年后的A10制程中,将全面导入High-NA EUV。
《科创板日报》17日讯,ASML总裁兼首席执行官傅恪礼表示:“正如此前几个季度,半导体行业的整体库存水平持续得到改善。同时我们也看到,无论是逻辑芯片还是存储芯片客户,对光刻设备的利用率都在进一步提高。尽管以宏观环境为主的不确定性仍然存在,我们预计下半年半导体行业将持续复苏。”
财联社7月10日电,近日,荷兰半导体设备制造商阿斯麦公司前任首席执行官(CEO)彼得·温宁克接受荷兰BNR电台采访。在回答有关美国限制阿斯麦对华出口芯片生产设备问题时,温宁克指出,这么做是“基于意识形态”,“而不是基于事实、内容、数字或数据”。据荷兰媒体报道,温宁克表示,“如果是基于数据,美国政府可能会得出与现在出于意识形态动机的截然不同的结论”。温宁克说,阿斯麦在中国拥有客户和员工已经有30多年,他们一直在为阿斯麦的业务发展作出贡献,因此阿斯麦“对他们也有义务”。他将尽可能就防止严厉出口限制进行游说。温宁克担任阿斯麦公司首席执行官将近11年,今年4月刚刚卸任。
财联社7月9日电,荷兰半导体设备制造商阿斯麦公司首席执行官(CEO)克里斯托夫·富凯和他的前任彼得·温宁克日前分别接受媒体采访,反对美国限制阿斯麦对华出口。据德国《商报》9日报道,富凯对该报说,限制阿斯麦对华出口芯片生产设备是不明智的,这样做也伤害西方自身利益。他说,目前汽车行业,尤其是德国汽车行业,急需大量利用成熟技术制造的芯片,西方在这方面的投资很少,欧洲甚至无法满足其需求的一半。西方急需的芯片正在中国生产,“阻止别人生产你需要的东西是不理智的”。另据荷兰BNR电台近日报道,温宁克对该电台表示,美国基于意识形态推动限制对华芯片出口,“而不是基于事实、内容、数字或数据”。他说,阿斯麦在中国拥有客户和员工已经有30多年,他们一直在为阿斯麦业务发展作出贡献,因此公司“(对他们)也有义务”。温宁克表示,他将尽可能就防止严厉出口限制进行游说。
① 阿斯麦创始人之一维姆・特鲁斯特(Wim Troost)于6月8日上午去世; ②阿斯麦已成为欧洲第二大上市公司,市值为4095亿美元。
财联社6月6日电,据媒体报道,ASML首席财务官罗杰·达森(Roger Dassen)称,将于第二、三季度开始获得台积电“大量”(significant)2纳米相关订单。此外,达森最近还在电话会议中表示,台积电和英特尔年内将获得ASML的高数值孔径极紫外(High-NA EUV)光刻机。
《科创板日报》6日讯,ASML首席财务官罗杰·达森(Roger Dassen)称,将于第二、三季度开始获得台积电“大量”(significant)2nm相关订单。ASML此前曾表示,得益于智能手机和人工智能使用的尖端逻辑芯片的需求旺盛,其2025年销售额目标为300亿至400亿欧元。