①浙大量子研究院相关团队宣布，自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”正式走向市场。 ②业内人士表示，电子束光刻在工业领域应用最大的问题还是量产效率，且暂时不具备替代EUV的可能。
①全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发有了“中国刻刀”； ②“羲之”通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，特别适合芯片研发初期的反复调试。
财联社8月14日电，据杭州日报，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”近日已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在测试现场，浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。 “羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。
①安徽首家半导体光刻掩模版企业——安徽晶镁光罩有限公司拟成立，多家资方合计向其增资11.95亿元； ②安徽晶镁关于半导体光刻掩模版的技术资产，均来自晶合集成方面的转让，未来将专注于28nm及以上工艺节点半导体光罩生产制造。
财联社7月28日电，阿斯麦及其他欧洲芯片设备板块股票上涨，因它们的主要客户三星赢得为特斯拉生产人工智能芯片的合同。与此同时，美欧达成贸易协议，缓解了贸易战忧虑，为该行业在连续两周下跌后提供了额外提振。
《科创板日报》23日讯，尼康近日宣布，正式推出全球首款专为半导体后道工艺设计的无掩模光刻系统DSP-100，并启动全球预订，预计于2026年3月31日前正式上市。该设备采用SLM（空间光调制器）技术，专为扇出型面板级封装（FOPLP）领域设计，能够支持最大600mm见方的大型基板，并具备1.0μm *1（L/S *2）高分辨率。
财联社7月16日电，据央视新闻，荷兰光刻机巨头阿斯麦公司（ASML）当地时间16日警告称，受美关税政策影响，该公司可能无法在2026年实现增长。该公司首席执行官富凯当天表示，该公司仍在为2026年的增长努力，但目前无法保证这一点。该公司表示，与整个半导体行业一样，阿斯麦公司越来越容易受到美国潜在贸易限制的影响。地缘政治不确定性加剧，尤其是在4月之后，该公司的机器及其生产的芯片价格出现上涨，市场环境依然充满挑战。
《科创板日报》16日讯，阿斯麦（ASML）总裁兼首席执行官傅恪礼表示，“我们看到光刻机投资在晶圆厂总体投资中所占的比重持续保持强劲，尤其是在DRAM（动态随机存取存储器）领域，而TWINSCAN NXE:3800E的推出也进一步巩固了这一趋势。与此同时，EUV光刻机的应用正在按计划推进，其中包括高数值孔径（High NA）系统。本季度，我们发运了首台TWINSCAN EXE:5200B系统。”
《科创板日报》3日讯，阿斯麦（ASML）预告，将于欧洲中部时间7月16日07:00公布2025年第二季度业绩，仍比台积电早一天。ASML高层将于欧洲中部时间当日15:00举行60分钟的投资者电话会议。
财联社5月7日电，国风新材直线涨停，此前奥普光电涨停，波长光电涨超15%，茂莱光学、国林科技、佳先股份、蓝英装备、海立股份等跟涨。
《科创板日报》22日讯，业内人士今日透露，三星电子位于美国得克萨斯州泰勒市的工厂建设进度已完成99.6%，基本完工。一般情况下，设备已在该时点启动进厂，但三星不愿下单。三星电子晶圆代工业务在韩国国内已经接连亏损，在成本相对更高的美国厂恐怕将面临更加不利的处境。三星对外表态是，泰勒厂将按照原计划在2026年投入运营，但三星内部预期是，根据市场情况和订单情况，销售额将较低。三星电子内部人士表示，“通常情况下，工厂建成后3至6个月内就会引进设备，但考虑到三星电子一直拖延设备投资，因此在设备进口时需要缴纳高额关税的可能性很高。且由于向美国派遣有限的劳动力比较困难，因此雇佣人力资源的成本也会很高。”另外，ASML的极紫外（EUV）设备每台成本高达5000亿韩元，仅关税一项就可能达到数千亿韩元。
财联社4月17日电，光刻机巨头阿斯麦（ASML）4月16日在第一财季业绩沟通会上表示，2025年中国市场对ASML芯片制造工具的需求强于预期。“我们最初设定的是20%，后来又定在20%的低位。现在稍微高了一点。所以我们现在可能希望达到25%以上，”ASML首席财务官戴厚杰（Roger Dassen）在电话会议上表示，来自中国的需求依然坚挺，比公司三个月前或六个月前预测的更好一些。对于公司是否像台积电一样将光刻机制造工厂转移到美国，以应对潜在关税影响，ASML表示没有相关计划。
《科创板日报》16日讯，ASML首席财务官戴厚杰在财报视频访谈中表示，关税的潜在影响大致可以分为：对运往美国的整机系统征收关税；对在美国现场作业时使用的零部件和工具征收关税；在美国有生产制造环节，进口到美国并在美国进行下一步制造的材料也会被征收关税；其他国家对从美国发运的商品征收关税（如适用）。戴厚杰称，目标将关税对业绩的影响尽可能保持在最低限度。（记者 黄心怡）
财联社4月14日电，午后高盟新材涨超10%，此前格林达涨停，飞凯材料、茂莱光学、波长光电、西陇科学、华特气体等涨幅靠前。消息面上，国际半导体产业协会（SEMI）最新发布的数据显示，2024年全球半导体制造设备出货金额达到1171亿美元，较2023年的1063亿美元增长10%，重回高增长轨道。
① 高端ArF光刻胶领域，国产企业基本都还在研发、验证阶段； ②公司表示，与国内大部分厂商所生产的g/i系列光刻胶应用于6英寸、8英寸晶圆制造不同，恒坤新材生产的同类型产品应用于12英寸晶圆制造； ③各大晶圆厂商鼓励并支持同一家光刻材料企业能够尽可能供应多种光刻材料。
财联社3月6日电，荷兰光刻机巨头ASML近期举行年报会议。据透露，ASML计划2025年在北京开设一个新的回收与维修中心（Reuse & Repair Center）。目前，ASML在亚洲（韩国、中国台湾和中国大陆）、美国（威尔顿、圣地亚哥、华盛顿州温哥华）和欧盟（费尔德霍芬）设有维修中心，与当地供应商和专业维修合作伙伴合作，打造本地生态系统。
《科创板日报》5日讯，阿斯麦（ASML）今日公布2025年度股东大会议程，会议将于2025年4月23日在ASML位于菲尔德霍芬的礼堂举行。此外，ASML还宣布现任监事会委员Annet Aris在其任期届满后不再寻求连任，监事会提名Karien van Gennip出任新任监事会委员。
《科创板日报》5日讯，在阿斯麦（ASML）今日发布的2024年度报告中，首席执行官克里斯托弗·福凯（Christophe Fouquet）表示：“如果我展望ASML的未来增长，光刻技术无疑仍然是摩尔定律的主要驱动力之一，我们相信这一点在未来许多年里依然成立。与此同时，正如我们几年前就意识到的，二维收缩（2D shrink）正变得越来越困难。这并不完全是由于光刻技术的局限性，而是因为我们几乎达到了逻辑和存储器客户所使用的晶体管的极限。为了继续在二维收缩方面取得进展，我们需要在架构和器件上进行创新。这意味着需要进行三维前道整合（3D front-end integration），而这将为我们带来增长机会——因为三维整合技术依赖于键合（Bonding），而这又需要一体化光刻技术（holistic lithography）。我认为，三维整合将成为二维收缩日益重要的补充技术或技术组合。”
