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14:26:38【业界称三星电子正研发取代碳化硅聚焦环的新材料 碳化硼成有力备选方案】
财联社3月2日电,三星电子正在研发取代碳化硅(SiC)聚焦环(Focus Ring)的新材料。业界消息指出,硬度表现优秀的碳化硼(B4C)成为三星有力备选方案。三星为将B4C打造成新一代聚焦环材料,正在进行相关研发。聚焦环在半导体产业中,主要用于硅片蚀刻工艺,除了能固定硅片之外,也有维持电浆体密度、防止硅片遭污染等功用。 (DIGITIMES)
财联社声明:文章内容仅供参考,不构成投资建议。投资者据此操作,风险自担。
耐火材料 半导体芯片 第三代半导体 新材料 环保 硅片
2022-03-02 14:26:38 2938760 阅读
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