财联社1月21日电，英特尔、三星、台积电等半导体大厂先进工艺大战如火如荼，对极紫外光（EUA）设备需求大增，EUA独家供应商阿斯麦（ASML）新世代EUA设备再飙上新的天价。据了解，下世代High-NA EUA设备因为精密度更高，设计零件更多，价格水涨船高，其中，最新款由英特尔率先订下的机种“EXE:5200”系统报价逾3.4亿美元，再度创下历史新高。