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大硅片厂商上海超硅拟赴科创板 核心设备可自主生产 超百万年产能正在路上
上海超硅具备300mm半导体硅片的生产能力,公司目前的主要产品包括200mm的抛光片、氩气退火片和外延片、300mm的抛光片等。

《科创板日报》(上海,记者 吴凡)讯,《科创板日报》记者18日获悉,上海超硅半导体股份有限公司(下称“上海超硅”)拟前往科创板上市,中金公司担任其辅导机构。据了解,上海超硅主要从事大尺寸集成电路级别硅片的研发、生产和销售。

半导体硅片是芯片制造的关键材料,但在半导体大硅片领域,目前全球半导体硅片市场主要被日本、德国、韩国、中国台湾等国家和地区的知名企业占据。

记者了解到,中国大陆的半导体硅片企业主要生产150mm及以下的半导体硅片,仅有少数几家企业具有200mm半导体硅片的生产能力;而对于尺寸更大的300mm半导体硅片,2017年之前几乎全部依赖进口,此后在2018年,沪硅产业子公司上海新昇成为中国大陆率先实现300mm硅片规模化销售的企业。

上海超硅同样具备300mm半导体硅片的生产能力,公司目前的主要产品包括200mm的抛光片、氩气退火片和外延片、300mm的抛光片等。

据了解,目前上海超硅与其子公司重庆超硅半导体、成都超硅半导体均致力于研发生产集成电路用大硅片,其中在2016年4月,重庆超硅大硅片项目一期投入试生产,10月正式建成并举行产品下线仪式,达产后实现8英寸硅片年产600万片、12英寸硅片年产60万片的产能。

另外上海超硅项目包括AST综合研究院、300mm全自动智能化生产线、450mm中试生产线、先进装备研发中心、人工晶体研发中心等,2018年上海超硅300mm全自动智能化生产线项目开工建设。根据规划,项目建成后将形成年产360万片300mm抛光片和外延片,以及12万片450mm抛片生产能力。

根据《IT时报》的报道,上海超硅已于2020年9月28日正式投产,300mm抛光片月产能约5万片,月产能投产约2万片。上海超硅在辅导信息中称,公司300mm产线全部投产后,预计将占世界大尺寸硅片总用量的5%-10%,可基本解决IC产品在大硅片材料的自给自足。

从产能角度看,目前沪硅产业的产能规模领先于上海超硅,2020年,沪硅产业旗下Okmetic和新傲科技的200mm及以下半导体硅片(含SOI硅片)的年产能分别为:277.90万片和270.88万片;沪硅产业子公司上海新昇的300mm半导体硅片的年产能为193.50万片。

同时在5G/AI/IoT等下游应用持续增长下,晶圆厂商对于硅片的需求也在增加。为此沪硅产业还于2021年1月12日披露定增预案,拟募资50亿元投入集成电路制造用12英寸高端硅片研发与先进制造项目、12英寸高端硅基材料研发中试项目。项目实施后,公司12英寸硅片产能将达60万片/月,即年产能将达到720万片。

值得注意的是,由于300mm半导体硅片生产线全套设备中进口设备比重较高,其中部分核心设备如拉晶设备、抛光和清洗设备、切磨设备、检测设备和外延设备等价值较高的设备均采购自日本、韩国、德国、美国等国家。

记者了解到,目前沪硅产业部分300mm半导体硅片生产设备来自于境外,同时公司也在寻找国产设备进行进口替代。与之相比,上海超硅称,其核心设备晶体生长炉由公司自主设计制造。

融资方面,天眼查显示,上海超硅共历经4轮融资。2020年6月,公司获得上海集成电路产业基金、中金资本、启迪金双、兴橙资本、科创投集团和西安善美的战略融资,其中,上海集成电路产业投资基金股份有限公司认缴出资13651万元,彼时持股比例为13.5%。

2020年12月,上海超硅又获得前海母基金、成都先进制造产业、联想创投等共计14家投资机构的股权融资。

目前,上海超硅持股5%以上的股东包括:上海砾靓企业管理咨询合伙企业(有限合伙)、上海松江集硅企业管理中心(有限合伙)、天津镕瑞企业管理合伙企业(有限合伙)、重庆两江新区置业发展有限公司以及上海诚英管理咨询合伙企业(有限合伙)。

公司的实控人则是陈猛,现任上海超硅的总裁、董事长。陈猛1999年7月于中科院金属研究所博士毕业,2001年至2009年11月历任上海新傲经理、总裁助理、副总裁、监事等。

责编 | 季晟
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