《科创板日报》（上海，记者吴凡），3月30日晚间，国内半导体设备制造商中微公司（688012.SH）发布2020年年报，报告期内，公司实现营收22.73亿元，同比增长16.76%；实现归母净利润4.92亿元，同比上升161.02%；反映主营业务情况的扣非后归母净利润为0.23亿元，同比下滑84.19%。

对于归母净利润同比大涨的原因，中微公司解释称，一方面是因为公司于2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3亿元而间接持有中芯国际科创板股票，因中芯国际股价变动导致公司产生公允价值变动收益约2.62亿元；另一方面则是公司于报告期内获得政府补助2.53亿元，而2019年公司获得政府补助为0.27亿元。

此外，由于中微公司在2020年实施股权激励计划产生股份支付费用约1.24亿元（属于经常性损益），2019年无该类费用发生，这是导致公司扣非后归母净利润同比大幅下降的主要原因。

那么中微公司在报告期内的主营业务表现情况如何？

中微公司主要为集成电路、LED外延片、功率器件、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备，其中刻蚀设备主要分为ICP（电感性等离子体刻蚀设备）和CCP（电容性等离子体刻蚀设备）。

年报显示，中微公司CCP刻蚀设备产品中，PrimoAD-RIE®、PrimoSSCADRIE™、PrimoHD-RIE™等产品批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线，并且在部分客户市场占有率已进入前三位。

《科创板日报》记者注意到，在先进逻辑电路方面，中微公司取得5纳米及以下逻辑电路产线的重复订单。虽然公司未在年报中具体提及客户名称，但公司2019年7月披露的招股书显示，台积电为其刻蚀设备产品中的重要客户，而台积电5nm已在2020年量产，并且其3nm制程预计将于2021年试产，并将于2022年下半年量产。

在存储电路方面，公司的CCP刻蚀设备在64层及128层3D NAND的生产线得到广泛应用。值得注意的是，在目前的NAND市场，根据集邦咨询的预测，2021Q2，NAND价格将同比上涨约3-8%，较2021年第一季度（NAND价格整体下跌5-10%）明显提升，主要原因是PC、智能手机支撑NAND需求；2021Q2服务器市场旺季即将来临；三星德州厂停工对NAND控制芯片供应产生负面影响。

巨大的市场需求之下，国内存储厂商，同时也是中微公司的重要客户——长江存储已规划建设3座全球单座洁净面积最大的3D NAND Flash产线，总投资规模达240亿美元，到2023年总产能可达30万片/月。

中微公司称，得益于3D NAND芯片制造厂产能的迅速爬升，其CCP产品订单产品的重复订单稳步增长。另外公司的ICP刻蚀设备中的Primonanova®产品自2020年开始逐步取得客户的重复订单。受益于2020年下半年国内存储客户的扩产带动，前述产品的销售取得较大进展。

总体来看，2020年，中微公司的刻蚀设备刻蚀设备收入为12.89亿元，同比增长约58.49%。

在研发方向上，中微公司称，其正在进行下一代产品的技术研发，以满足5纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。

其中在DRAM方面，由于记者在公开渠道未获悉中微公司的刻蚀产品在DRAM领域的应用案例，同时国内DRAM厂商长鑫存储也未出现在中微公司的招股书中，因此未来中微公司的刻蚀设备在DRAM领域的布局，以及是否能够打入正在扩产布局的长鑫存储供应链令人期待。

另外公司的MOCVD设备主要用于蓝绿光及紫外LED外延片和功率器件的生产。报告期内，公司的MOCVD设备PrismoD-Blue、PrismoA7能分别实现单腔14片4英寸和单腔34片4英寸外延片加工能力。

2020年7月，中微公司宣布推出应用于深紫外LED外延片生产的PrismoHiT3™MOCVD设备，该设备已在行业领先客户验证成功。中微公司称，由于市场原因，公司2020年MOCVD设备收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。

《科创板日报》记者了解到，受全球新冠疫情影响，2020年LED需求有所萎缩，出口同比减弱。此外受终端芯片价格下降及生产产能持续释放等因素影响，2020年度LED设备市场仍呈现下滑态势。

不过中微公司也在年报中指出，近两年高端显示类的LED外延片需求量增加明显。基于MicroLED的高端显示应用也开始小规模试生产，预计在未来几年将会有更多的市场需求。而在MiniLED方面，东莞证券指出，受疫情影响，产业链企业MiniLED量产进度有所延后，但随着全球疫情逐步得到控制，叠加终端大厂陆续推出搭载MiniLED显示屏的电子产品，MiniLED有望于2021年快速放量。

目前中微公司的在研项目中，既有用于MiniLED大规模生产的高输出量MOCVD设备的研发，还有用于MicroLED应用的新型MOCVD设备的研发。其中公司正在研发的可用于MiniLED生产的新型MOCVD设备产品，已在客户端取得实质性进展。

总体来看，2020年，中微公司半导体设备的毛利率为37.67%，同比增长2.74个百分点。

中微公司称，公司考虑将刻蚀设备延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域，计划扩展在泛半导体领域设备的应用，布局显示、MEMS、功率器件、太阳能领域的关键设备，拟探索更多集成电路及泛半导体设备生产线相关环保设备及医疗健康智能设备等领域的市场机会。

此外，截至目前，中微公司还通过外延式并购，相继投资了山东天岳、理想万里晖、德龙激光等公司。中微公司表示，会重点考虑布局等离子体刻蚀、薄膜沉积设备和测量设备等领域的设备公司，以及其他泛半导体领域设备公司。