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14:42 年产5千片碳化硅功率器件等分立半导体器件 中科汉韵进入设备安装调试阶段
《科创板日报》6日讯,据徐州新闻报道,日前,中科汉韵半导体有限公司(简称“中科汉韵”)设备陆续进场安装调试,明年5月全面达产后,将年产5000片碳化硅功率器件等分立半导体器件。此外,中科汉韵董事长袁述表示,设备在陆陆续续的安装中,从光刻机到薄膜,到刻蚀化学腐蚀离子注入等等,都是比较先进的。大概到明年二月底之前希望能够全部进来安装。据了解,中科汉韵二期项目计划2021年开始实施,全新配置6寸工艺线,将成为国内首家规模化生产碳化硅MOSFET芯片和模块的企业。
半导体芯片 光刻机 第三代半导体
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