视频|ASML公布全新EUV光刻机规格，华为现在最想买的就是它！

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财联社CC新闻|英雅云

2020-10-14 星期三

全新EUV光刻机计划于2021年中期开始发货。

光刻机

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ASML公布了全新EUV光刻机TWINSCANNXE:3600D最终规格。30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1纳米。全新EUV光刻机计划于2021年中期开始发货。 https://h5video.cls.cn/video/3f65795a-1752668858b-0005-8c03-9c0-abde0.mp4

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