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大族激光:公司光刻机项目分辨率3-5μm
财联社9月22日讯,大族激光在互动平台表示:公司光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用,和荷兰阿斯麦公司没有合作。
光刻机
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