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15:48:48【华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E:国产首台性能超越国外竞品 整机国产化率95.6%】
《科创板日报》14日讯,在今日举行的2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上,华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E,据介绍,该产品是国产首台性能超越国外竞品的中束流离子注入机,剂量均匀性,角度,Dose Rate,Beam Current 以及WPH 等部分关键指标方面领先于国外竞品,其搭载华海清科自研的软件平台,整机国产化率95.6%,预计2027年实现全部国产化。 (科创板日报记者 陈俊清)
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2026-10-14 15:48:48 895942 阅读
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