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14:21:39【独家|微导纳米将发布PVD新品 补齐三大薄膜沉积路线产品布局】
《科创板日报》14日讯,《科创板日报》记者在2026湾芯展现场独家获悉,微导纳米将于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品,并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺,攻克钌薄膜超薄连续成膜难题。本次新品亮相标志该公司补齐PVD板块,完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。 (科创板日报记者 曾乐)
微导纳米-4.05%
半导体芯片 直击2026湾芯展
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2026-10-14 14:21:39 710912 阅读
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