《科创板日报》8月25日讯（记者 陈俊清） 半导体量检测设备龙头中科飞测今日（8月25日）披露2026年半年报。

财报显示，中科飞测2026年上半年实现营收9.41亿元，同比增长34.01%；归母净利润为-1.27亿元，下滑594.32%。

单季度来看，该公司今年第二季度实现营收5.45亿元，同比增长33.57%；归母净利润为-5947.57万元，同比下滑1652.43%。

中科飞测在财报中表示，公司暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等各系列新产品，第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等现有系列升级迭代产品，以及HBM、2.5D/3D先进封装业务收入贡献增长，推动公司订单规模及营收规模持续增长。利润下滑则主要系本报告期内在研发投入和市场投入上持续加大，所产生的支出抵消了业绩增长带来的影响。

该公司进一步表示，受公司产品销售结构波动以及新产品推广初期定价策略的影响，导致本报告期内综合毛利率同比下降，影响了公司的短期盈利水平。

值得注意的是，中科飞测现金流情况有所改善，其上半年经营活动产生的现金流量净额为-1.90亿元，上年同期为-4.42亿元，主要系公司加大合同收款力度，经营性现金流入同比增幅高于现金流出增幅。

拆分业务来看，中科飞测检测设备收入6.41亿元，占比68.17%；量测设备收入2.66亿元，占比28.22%。

《科创板日报》记者注意到，设备端层面，中科飞测在已布局晶圆制造光学检测与量测全品类设备的基础上，将业务版图延伸至电子束、X光检测技术赛道，多款设备已在海外市场拓展及下游客户订单落地方面取得进展。

其中，中科飞测无图形晶圆缺陷检测设备系列报告期内已实现对海外先进封装客户的销售，并出货至海外先进制程客户开展产线验证。图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、介质薄膜膜厚量测设备等正进一步推广应用至更多海外客户产线中，目前已通过多家海外先进封装客户的产线验证并实现销售。

分地区来看，中科飞测本期境内收入8.86亿元，占比94.16%；境外收入5493.73万元，占比5.84%。

研发方面，中科飞测报告期内研发投入合计3.81亿元，较上年同期增长33.55%。

财报显示，报告期内，中科飞测晶圆平整度量测设备已完成样机研发，并出货至国内头部HBM客户产线上进行工艺开发与验证工作；电子束关键尺寸量测设备正积极开展国内多家头部客户的复杂图形工艺样片的验证测试。

此外，在电子束关键尺寸量测设备领域，中科飞测表示，公司电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正开展国内多家头部客户的复杂图形工艺样片的验证测试，并与国内多家头部客户达成进场测试的意向，预计很快出货至相关客户产线上进行工艺开发与验证工作。

股权结构方面，中科飞测本期前十大流通股东持股合计占比40.05%，新进股东包括：苏州翌流明光电科技有限公司、深圳小纳光实验室投资企业(有限合伙)、哈承姝、中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金、香港中央结算有限公司、长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金。

退出股东包括：招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金、深圳市创新投资集团有限公司、广东红土创业投资管理有限公司-深圳市人才创新创业一号股权投资基金(有限合伙)、海南岭南晟业创业投资有限公司、中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金、中国人寿保险股份有限公司。

截至8月25日收盘，中科飞测股价报338.99元/股，总市值1193.42亿元。