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马斯克瞄准EUV光源:FEL技术受青睐 芯片成本或迎变革
财联社8月10日电,继造车、火箭、人形机器人之后,马斯克正将目光投向芯片制造核心环节——EUV光源。相较于目前成熟商用的激光产生等离子体(LPP)光源技术,马斯克对自由电子激光(FEL)表达出明显的青睐。自由电子激光(FEL)理论上可大幅降低先进芯片生产成本,但目前仍处于早期研发阶段。
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马斯克的新挑战:给光刻机“换束光”
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