《科创板日报》6月27日讯 半导体先进制程生产所需的高纯度二氧化碳（CO2）供应趋紧，产业拉响短缺警报。

据韩国The Elec消息，由于炼油及石化工厂开工率下降，导致二氧化碳产量大幅减少。通常情况下，半导体制造商与相关供应商各自都会储备两周二氧化碳用量，合计能维持一个月的库存量，但近期库存已经跌破一个月水平。

三星电子每月的高纯度二氧化碳用量约1800至2000吨，SK海力士则需要600至700吨。知情人士透露，这两家巨头的生产尚未受到实际影响，但库存余量持续减少，正全力加紧采购。不过即便提高单价，也难以确保额外供应量。

另有工业气体行业人士表示，“由于缺乏原料，我们无法按需供应产品。目前从物理条件来看，短期内没有办法扩大产量。”

高纯度二氧化碳主要用于半导体超临界清洗工艺。所谓超临界，是指物质超过临界温度和临界压力时所呈现的物理状态。液态二氧化碳进入超临界状态后，液态与气态的界限消失，可以同时具备两者的特性：既拥有接近液体的密度，能有效溶解晶圆表面的残留物和污染物；又兼具气体的流动性，可以深入微细电路图案内部清除杂质。由于先进制程芯片的线路间距极窄、结构高低落差较大，因此需要采用超临界清洗工艺。

二氧化碳原料主要是炼油、石油化工以及制氢等生产过程中产生的副产品。业内分析认为，中东局势导致原油供应不稳，进而使韩国国内石油化工企业开工率下降，是造成二氧化碳原料短缺的重要原因。

据悉，液态二氧化碳价格较年初已上涨约20%。业界普遍预计，供应紧张局面很可能持续到年底。

据《科创板日报》不完全统计，A股中：

金宏气体超纯氨、高纯氧化亚氮、高纯二氧化碳等优势产品已经成功供应众多头部半导体企业；

至纯科技为12英寸28纳米及以下集成电路客户提供大宗气站服务，供应的大宗气体主要包括高纯氮气、高纯氧气、高纯氩气、高纯氢气、高纯氦气、高纯二氧化碳等；

凯美特气主要产品有高纯二氧化碳、氢气、燃料类产品等，广泛应用于电子、化工、饮料、食品、烟草、石油、农业等领域。