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10:04 北方华创发布12英寸先进气体团簇离子束刻蚀设备
《科创板日报》2日讯，日前，北方华创正式发布全新12英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备Acme Glaion130。设备突破三大核心技术瓶颈，覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及AR/VR应用场景。
北方华创
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半导体芯片 光芯片
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