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17:44 消息称ASML着手研发混合键合机台
《科创板日报》16日讯,行业人士透露ASML正着手开发混合键合设备,其合作伙伴包括EUV光刻机磁悬浮系统组件供应商Prodrive和VDL-ETG。 (TheElec)
光刻机
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