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22:10 阿斯麦：预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%
财联社2月23日电，阿斯麦表示，通过提升功率，可将光刻机极紫外光源的功率提升至1000瓦特，预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%。
光刻机 半导体芯片 半导体设备
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