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21:12 金宏气体:电子级二氯二氢硅产品顺利试生产
《科创板日报》19日讯,金宏气体(688106.SH)发布投资者关系活动记录表公告称,电子级二氯二氢硅是公司可转债募投项目“新建高端电子专用材料项目”的核心规划产品,目前该产品已顺利进入试生产阶段,项目达产后预计年产能为200吨。公司正全力推进该产品在半导体客户端的测试认证与后续导入工作。在半导体行业中,氧化亚氮通常作为沉积介电材料,应用于薄膜沉积的关键工艺;高纯二氧化碳则主要应用于清洗技术和沉浸式光刻技术。截至目前,公司氧化亚氮、高纯二氧化碳已成功导入部分头部半导体企业,后续仍将继续推进优质半导体客户的导入工作。
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