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11:25:50【晶盛机电12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付】
财联社12月24日电,晶盛机电近日在碳化硅(SiC)核心装备领域取得重大突破,12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付全球头部SiC外延晶片生产商瀚天天成。此次研发的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8、12英寸SiC外延生产,其独创的垂直分流进气方案,实现了晶圆表面温度高精度闭环控制、工艺气体精确分区控制等技术,同时设备配备了自动化上/下料模块及一键自动PM辅助功能,大幅提升颗粒控制能力和维护效率。
晶盛机电-0.97%
第三代半导体 耐火材料 碳化硅
财联社声明:文章内容仅供参考,不构成投资建议。投资者据此操作,风险自担。
2025-12-24 11:25:50 2903461 阅读
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