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艾森股份:KrF光刻胶下一步将在头部晶圆厂上线测试
《科创板日报》13日讯,艾森股份(688720.SH)发布投资者关系活动记录表,目前公司KrF光刻胶AR(深宽比)>13,主要应用于CISisolation等高深宽比结构,包括存储芯片的相应结构,下一步将在头部晶圆厂上线测试。
艾森股份
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