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冠华半导体成立于2022年，总部位于辽宁省沈阳市，是一家专注于工业测控领域及高端流量计核心技术研发与产业化应用的企业。
1.公司简介
辽宁冠华半导体有限公司（冠华半导体）成立于2022年，总部位于辽宁省沈阳市，是一家专注于工业测控领域及高端流量计核心技术研发与产业化应用的企业。公司立足于半导体制造领域，通过自主研发的压力式流量传感技术，突破传统流量计在精度、响应速度和稳定性方面的技术瓶颈。产品广泛应用于气体/液体流量监测（1SCCM—200SLM，可定制扩展）、微流量控制等场景，测量精度可达±0.05% FS，并采用316L流道或定制高镍合金材料，显著提升耐腐蚀性能。其解决方案已广泛应用于工业、泛半导体（光伏、燃料电池、分析仪器等）多个领域。
目前，公司主要面向半导体产业链中的刻蚀、沉积、PVD、离子注入等关键工艺，以及12英寸晶圆产线，提供高可靠性的智能流量控制解决方案，助力客户提升工艺一致性并降低能耗，推动国产核心零部件自主化进程。未来，公司将持续以技术创新驱动产业升级，致力于成为全球领先的精密测控方案提供商及高端流量控制技术标杆企业。
成立时间：2022-03-01
注册资本：1000万(元)
法定代表人：李冠男
公司地址：辽宁省沈阳市浑南区浑南东路15-15号
2.业务项目
全流程技术支持服务：冠华半导体提供7×24小时远程技术响应与快速现场支持，确保客户设备高效稳定运行。通过远程诊断、固件升级、工艺调试及紧急故障处理，实现问题精准定位与快速解决，全面保障产线连续性与工艺一致性。
高效备件供应链管理：公司建立本地化原厂备件库，覆盖关键易损部件，支持加急配送与紧急订单绿色通道，大幅缩短停机时间。同时提供备件预存建议、旧件回收与环保处理服务，助力客户实现预防性维护与可持续运营。
行业定制化合规保障：针对半导体制造的高洁净、高安全要求，冠华提供符合Fab标准的无尘作业、气体泄漏防护及数据保密服务。所有服务均遵循行业规范，确保在洁净环境、危险气体应用和核心技术保密方面满足高端客户的严苛标准。
3.主要产品
气体流量测量控制
基于先进半导体传感技术与MEMS微机电系统创新设计，采用压差式原理实现高精度气体/液体流量检测。产品具备响应快、稳定性强、抗干扰能力强等特点，广泛应用于半导体制造、工业自动化、医疗设备及环境监测等领域，为客户提供精准、可靠的流量控制解决方案。
压力控制器
融合高精度传感技术与智能算法，专为工业自动化、流体控制和HVAC系统等场景设计。通过实时监测压力变化并自动调节阀门或执行机构，实现闭环压力稳定控制，支持多种气体和液体介质，适用于复杂工况下的高可靠性压力管理需求。
压力开关/传感器
采用MEMS压阻式先进技术，将压力信号转化为标准电信号输出，具备高精度、高稳定性与强抗干扰能力。产品广泛应用于工业过程控制、汽车电子、医疗设备等领域，可实现实时、精准的压力数据采集与报警联动，满足多样化工业自动化需求。
液体流量测量控制
基于科里奥利力原理，直接测量液体质量流量，无需依赖温度、压力或密度补偿，具有高精度、宽量程比和优异的抗干扰性能。产品广泛应用于半导体制造、石油化工、食品饮料、制药及水处理等行业，为用户提供稳定、可靠的液体流量监测与控制支持。
冠华半导体以“高精度、智能化、国产化”为核心，构建覆盖气/液流量控制、压力调控与传感的完整产品体系，全面服务于高端工业与泛半导体产业链。
三轮融资加持 “产业+资本”背书
问：能否介绍一下公司的融资历程？
答：截至目前，公司已完成三轮融资，整体进展顺利。投资方阵容中既有拓荆科技、中微公司、富创精密等国内头部半导体设备厂商，也有祥峰资本、瑞金资本等专业财务投资机构。这种“产业+资本”的双重背书，不仅带来资金上的支持，更体现产业链上下游对我们的技术路线和产品能力的认可。
上一轮融资于今年4月至5月完成，投后估值约6.2亿元，总融资金额在6000万至7000万元之间。这笔资金主要用于产能扩张、研发团队建设以及新产品线的布局。
MFC为核心 打造国产替代产品
问：冠华半导体的核心产品是什么？技术壁垒体现在哪里？
答：公司以质量流量控制器（MFC）为核心产品，逐步向压力控制、真空设备等领域延伸。MFC是半导体工艺设备中控制气体流量的关键部件，直接影响薄膜沉积、刻蚀等关键工艺的精度与稳定性，属于典型的“小器件、大作用”型核心零部件。
问：产品在国产替代中的进展如何？
答：目前，我们的MFC产品已成功应用于12英寸半导体产线，并通过了拓荆科技、中微公司等头部设备厂商的严格验证，实现批量交付，在国产替代进程中处于领先地位。
客户结构优化 营收未来可期
问：目前的客户群体和市场表现如何？
答：公司目前已服务近100家客户，覆盖半导体设备制造商、晶圆制造厂等多个环节。其中，拓荆科技是我们的最大客户，去年贡献了70%-80%的营收。今年随着其他客户订单放量，预计其占比将下降至40%以上，客户结构正在持续优化。
问：营收情况如何？
答：2024年公司营收预计在1600万元左右，2025年有望突破3000万元。这一增长主要来自三方面：一是现有客户订单放量；二是新产品线逐步导入；三是更多晶圆厂开始试用我们的产品。
沈阳深圳 产研融一体化布局
问：公司的研发与生产布局是怎样的？
答：公司总部位于沈阳，生产与核心研发团队也集中于此。沈阳具备良好的工业基础和人才储备，尤其在精密制造、自动化控制方面有独特优势，非常适合我们这类硬科技企业扎根。
同时，我们在深圳设立了融资主体，主要目的是对接政府引导基金、资本市场资源以及南方客户网络。深圳的产业生态更活跃，政策响应更快，有助于我们更好地融入全国半导体产业链。
目前，公司已形成气体/液体流量控制、压力传感、真空设备三大产品方向，计划在明年扩展至3-4条产线，进一步提升产品覆盖面和系统集成能力。
政策支持
问：在政策支持方面，是否有申请国家级或省级项目？
答：目前我们尚未系统化申报省级或国家级科技项目，更多是依靠自有资金和前期融资推进研发。近期，辽宁省政府及科技部门已主动接洽，表达了在人才引进、独角兽企业培育、产业链协同等方面的扶持意愿。我们也非常愿意参与地方产业生态建设，争取更多政策与资金支持。
未来展望
问：未来发展规划如何，是否有下一轮融资计划？
答：对融资方面而言，我们将视业务发展及客户订单情况而定，目前尚未明确具体时间节点。业务方面，未来我们将围绕三个方向发力：一是进一步提升MFC产品性能、二是扩大客户群、三是丰富产品线，并寻求与更多设备制造商和晶圆厂的深度合作。