①浙大量子研究院相关团队宣布，自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”正式走向市场。
                                    ②业内人士表示，电子束光刻在工业领域应用最大的问题还是量产效率，且暂时不具备替代EUV的可能。

①近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。
                                    ②爱建证券指出，越来越多的国产光刻机产业链企业取得显著进展，建议关注相关的投资机会。

①全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发有了“中国刻刀”；
                                    ②“羲之”通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，特别适合芯片研发初期的反复调试。