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尼康计划2027财年将晶圆对准销售额翻一番
《科创板日报》3日讯,日本半导体设备公司尼康目标到2027财年,将其晶圆对准站(用于在光刻前测量晶圆变形)的销售额较2024财年翻一番。报告强调,尼康的“对准站”是其一项关键优势,它可以测量晶圆的变形,从而提高曝光设备的套刻精度。随着3D堆叠和晶圆键合在NAND和逻辑芯片生产中的应用日益广泛,尼康正着眼于EUV领域以外的增长。 (日刊工业新闻)
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