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【电报解读】国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备出机!机构称电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障,未来有望加速发展,这家公司首台半导体电子束检测设备已正式交付国内客户
【国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备出机】《科创板日报》15日讯,据无锡日报,国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备今日在无锡成功出机。据介绍,此次出机的设备由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制,在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研。
国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备出机!机构称电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障,未来有望加速发展,这家公司首台半导体电子束检测设备已正式交付国内客户,另一家已开始组织开发电子束检测设备。
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