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【金牌纪要库·风口会议】反射镜是光刻机中影响晶圆良率的关键部件之一,高端光刻机中每片反射镜高达1万美元左右,另外光刻机光源提升光电转化效率是关键,镀膜可最大限度地减少光在传播过程中的能量损失
①反射镜是光刻机中影响晶圆良率的关键部件之一,高端光刻机中每片反射镜高达1万美元左右,这些企业是能为国内半导体领域供货反射镜的重要厂商;②光刻机光源提升光电转化效率是关键,镀膜可最大限度地减少光在传播过程中的能量损失,这些企业已在镀膜方面具有先进水平;③晶体纯度突破同样至关重要,其中物镜可决定光刻机能够刻蚀的最小线宽,这两家国内企业可提供相应产品。

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