《科创板日报》5月9日讯（记者 陈美）作为集成电路制造和检测的关键技术之一，光学感知技术正发挥着不可替代的作用。

《科创板日报》记者获悉，今日，上海复享光学股份有限公司（简称，复享光学）与上海科学院、复旦大学、中国科学院国家光栅制造与应用工程技术研究中心、北京理工大学、华东理工大学等共同发布深度光谱联合创新计划。

复享光学创始人、总经理殷海玮告诉《科创板日报》记者，在高端芯片制造中，高精度的光学计量和检测设备是确保良率和性能的重要保障。“特别是深度光谱技术架构，可以通过使用不同波长的光源和多光谱成像技术，全面地检测芯片的各种特性，如表面形貌、材料成分等。”

此前，复享光学承担的集成电路科技支撑专项《面向集成电路纳米尺度三维多参数光学检测关键技术的研究》已成功通过验收。

财联社创投通数据显示，复享光学成立于2011年，已完成6轮融资，最近一笔融资是深创投和浑璞投资参与的超亿元C轮融资。其中，浑璞投资是专业的半导体投资机构，已实现多个半导体IPO。

复旦学子创业，聚焦“微纳光子”

作为光学计量检测设备公司，复享光学的创始人殷海玮来自于上海复旦大学。在创业前，殷海玮表示，导师复旦大学资剑教授讲述了他对微纳光子学的憧憬：未来的芯片将会是全光集成的，包括光源、光波导、光二极管、光三极管、光谱器件等等，正如集成电路和组成集成电路的各类电子元器件一样……

那时，光子晶体、超材料等新兴的微纳光子学概念在国内还处于“萌芽”状态。在上海市大学生科技创业基金复旦分基金的支持下，殷海玮的创业项目获得了“第一束光”，利用这笔资金，殷海玮成功启动了企业。

在上海市科委的支持下，复享光学联合复旦大学成立了面向芯片产业的上海市微纳制程智能检测工程中心（SERCOM），开展光学检测共性、关键技术的工程化研究，并实现科技成果向半导体产业的转移、转化。

在殷海玮看来，这一转化，对于复享光学来说，是“微纳光子”从实验室向先进产业的进军。

经过多年深耕，复享光学提出“深度光谱技术架构”。“该架构是以需求为导向、面向交付，支持从需求到解决端到端一体化实现的光谱分析技术架构，包括参量与量技术、光与物质相互作用机制、仪器与芯片工程等。”

殷海玮认为，“端到端” 模式从需求出发直达解决方案，相比传统从指标到设备、从问题到方案的模式实现了大幅优化，不仅缩短了研发周期，还降低了硬件成本。

与此同时，在光电子和光芯片领域，复享光学还聚焦前沿的消费级光器件制造与检测技术领域。“随着下一代信息显示器件市场的爆发，预计未来光器件制造检测设备将达到上亿规模的需求。”殷海玮称。

上海科学仪器驶上应用“快车道”

《科创板日报》记者注意到，2024年12月，《上海市促进科学仪器和科研试剂创新发展行动方案（2025-2027年）》发布，提出到2027年，上海要建设1-2个技术测试验证平台，搭建5个以上应用场景和用户体验中心，培育5家以上细分赛道科技领军企业，科学仪器和科研试剂产业产值450亿元左右。

因此，如何让上海自主研发的科学仪器和科学试剂产品，在应用上驶进“快车道”成为关键。

对此，在未来战略和应用上，殷海玮也表示，复享光学将聚焦在“深度光谱技术”的五大方向：第一拓宽光谱检测的应用深度。近些年，科学家们发现了光的自旋特性和拓扑特性，这些新兴物理现象或许能带来光谱技术在材料检测、医疗诊断等领域的全新应用。

其次，深入研究光与物质相互作用的机制，借助超快光学、阿秒脉冲等尖端手段，进一步探索光谱检测的极限。

第三，提升光谱仪器设备的精密制造，确保国产光谱设备在精度和稳定性上达到国际领先水平。

第四，在AI算法与数据模型开发方面，希望通过AI算法的应用，实现光谱技术的智能化跃迁。特别是如何利用深度光谱高效、准确地解析海量光谱数据，而这正是人工智能的优势所在。

第五，在新能源光伏技术等领域推进光谱技术应用。目前，钙钛矿材料的量产化还面临诸多检测难题，传统光谱检测设备无法满足钙钛矿在量产阶段的检测需求。复享光学正与复旦大学等研究机构展开合作，研发针对钙钛矿材料特性的专用光谱仪，希望能够精确监控材料在生产和应用中的性能表现，从而为新能源行业的发展提供有效的技术支撑。

上海作为全国集成电路产业发展的重要地区之一，推动产业链上下协同合作是重要方向。

会上，中国半导体行业协会副理事长、上海市集成电路行业协会秘书长郭奕武谈到，全球集成电路产业面临变革，供应链安全技术突破、产业协同成为行业发展关键词。

“随着复享光学的快速发展，其不仅填补了国内高端光学检测设备的空白，更在半导体制造的关键环节，如光刻工艺监控、晶圆缺陷检测、先进封装测量等领域，为行业提供了高精度、高可靠性的解决方案。在上海市集成电路产业发展的路径中，需要这样的技术生态、行业协同。”郭奕武表示。

来自上海市集成电路行业协会的数据显示，2025年第一季度上海市集成电路产业实现营收700亿元，同期增长12.19%，呈现稳健增长态势。其中，设备材料产业实现营收82.97亿元，同比增长26.55%，已经连续超过5个季度增长率位居各产业链首位。