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20:44 俄首台350纳米光刻机即将量产
《科创板日报》7日讯，俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心联合白俄罗斯Planar公司成功研发首台350纳米光刻机，采用固态激光源实现更高能效和精度，已获客户订单并准备量产。该中心同步开发130纳米机型，预计2026年完成，标志着俄半导体自主化取得关键突破。
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