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2025年3月15日,由中国电工技术学会主持、宁夏超导泛半导体科技有限责任公司牵头组织的“高温超导磁控硅单晶生长装备、技术及应用科技成果鉴定会”在宁夏银川市举办。鉴定会现场,由中国科学院院士甘子钊领衔的专家委员会对项目进行了全面评估,一致认为该技术填补了我国在高端硅晶体制造领域的多项空白,综合性能达到国际领先水平。
联创超导技术赋能 超导产业化路径清晰
宁夏超导泛半导体科技有限责任公司成立于2024年12月,由宁夏盈谷实业股份有限公司、江西联创超导技术有限公司(以下简称“联创超导”)等多家企业和自然人联合投资设立。作为联创超导在超导技术产业化布局的重要一环,该公司依托联创超导在高温超导磁体技术领域的深厚积累,实现了技术转化与产业落地的深度融合。
高温超导磁控硅单晶生长装备、技术及应用的关键在于引入高温超导磁体技术,针对高品质大尺寸硅单晶生长技术瓶颈,研制出高温超导磁控硅单晶生长装备,形成了大尺寸硅单晶长棒快速、高稳定性、低含氧量的生长工艺,实现了大尺寸(12吋以上)高品质硅单晶的生产,经济和社会效益十分显著。
技术先进性获院士专家高度评价
据项目报告,公司自主研发的高温超导磁控硅单晶生长设备及技术可将硅片含氧量稳定控制在 5ppma以下,硅棒头尾利用率提升4%以上,生产效率提升12%,目前已拉出直径达340mm的高品质硅棒。
甘子钊院士在评审中指出:“这是国际上首次将高温超导技术应用于磁控直拉单晶生长,为高温超导技术产业化做了很多开创性的工作,开辟了超导技术产业化新赛道。”他特别提到,该技术对实现“双碳”目标具有战略意义。
专家委员会认为该项目解决了磁控条件下大尺寸硅单晶生长炉高温度均匀性节能型热场设计、模块化大尺寸传导冷却高温超导磁体设计、电﹣磁﹣热﹣流体多场耦合下硅单晶生长分析与控制等关键技术难题,取得了多项创新性技术成果,研制出高温超导磁控硅单晶生长装备,在生产实践中得到了应用,表明该项目总体技术水平已达国际领先。
完整产业生态投资布局 实现延链强链
根据规划,宁夏超导泛半导体科技有限责任公司在银川经济技术开发区建设高温超导硅单晶生长设备制造及高品质硅晶体生产基地,公司将形成世界一流的高温超导磁控硅单晶生长装备高端制造和硅单晶生产能力,为我国实现半导体材料自主可控提供关键支撑,有望重构全球硅材料产业格局。
此次鉴定会的成功,标志着我国在超导技术产业化应用领域迈出里程碑式一步。它不仅是对单项技术的认可,更是对联创超导以技术产业化推动行业变革的战略路径的肯定,凭借的技术迁移能力与产业链整合优势,或将成为中国高端制造突围的关键力量。在“双碳”目标与半导体自主可控的双重驱动下,高温超导磁控技术的突破,正为万亿级新能源与半导体产业注入全新动能。