《科创板日报》12月25日讯（记者 吴旭光）科创板又一起并购。

12月24日晚间，华海清科公告称，公司全资子公司华海清科（上海）半导体有限公司拟合计使用自有资金不超过10.045亿元，收购公司参股子公司芯嵛公司（上海）有限公司（下称“芯嵛公司”或者“标的公司”）剩余82%的股权。

本次交易完成后，芯嵛公司将成为华海清科全资子公司，进一步加大离子注入机业务投入。

华海清科董秘办人士12月24日晚间对《科创板日报》记者表示，本次交易为“横向拓品类”收购，有利于公司整体业务规模继续做大做强。此外，对于芯嵛公司的看好，主要基于标的公司在手订单，市场及客户需求，行业发展趋势等因素综合考量。

拟10.045亿元并购芯嵛公司82%股权

交易定价方面，本次交易确定芯嵛公司100%股权的整体价格为12.25亿元，本次拟收购的82%芯嵛公司股权合计交易对价为10.045亿元。交易价格与评估截止日芯嵛公司所有者权益账面值相比的增值率为1541.43%。

据公告显示，本次交易的股权转让方包括自然人CHEN WEI、上海凯城半导体科技合伙企业（有限合伙）、上海科技创业投资（集团）有限公司（以下称“上海科创”）、上海浦东海望集成电路产业私募基金合伙企业（有限合伙）（以下称“浦东海望”）、中小海望（上海）私募基金合伙企业（有限合伙）（以下称“中小海望”）、苏州鋆望创芯肆号投资合伙企业（有限合伙）、RIGHT DIRECT INVESTMENTS LIMITED和湖州庆芯科技发展合伙企业（有限合伙）。

穿透股权关系，上海科创是上海市国资委全资控股的上海国有资本投资有限公司；浦东海望的出资人有芯片龙头韦尔股份的子公司浙江韦尔股权投资有限公司、华远陆港资本运营有限公司等；中小海望的出资人则是国家中小企业发展基金有限公司、上海市商业投资（集团）有限公司等。

对于高溢价现金收购，有机构分析人士对《科创板日报》记者表示，标的公司属于离子注入业务范畴，跟华海清科目前主营的CMP设备属于并行的两块业务。“就国内市场来看，离子注入机是在集成电路前道工艺设备中本土化率最低的环节之一，国内优质标的较少，市场集中度低，技术门槛极高，给了新入局者成为‘巨头’的机会。”

在溢价现金收购的同时，交易双方签订了对赌协议。

根据业绩承诺，标的公司于2024年度、2025年度、2026年度的营业收入分别不低于0.45亿元、1.05亿元、3.4亿元。其中，各年度营业收入构成要求为：离子注入机台验收后确认的营业收入占比至少 80%，且零部件、维保、材料等其他业务营业收入占比不超过20%。

《科创板日报》记者注意到，以2024年为基期，至2026年，预测营收的年均复合增长率达175%左右。

华海清科董秘办人士对《科创板日报》记者表示，标的公司预测期内业绩高速增长，主要在于以下几方面原因：一是政策大力支持；二是半导体产业链本土化替代是未来趋势；三是标的公司拥有成熟离子注入机人才队伍和技术储备；四是标的公司产品竞争力强，细分行业地位领先。

华海清科也在公告中提示称，本次收购可能造成公司商誉减值的风险。

押注离子注入机业务

芯嵛公司成立于2018年，主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售。2023年、2024年1至5月，芯嵛公司归母净利润分别为-2442万元、-1516万元。

华海清科表示，芯嵛公司目前尚处于亏损状态，并且预计未来短期内仍将持续亏损，本次收购完成后公司也将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发等。

根据交易预案，芯嵛公司目前实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证。

据悉，标的公司创始人CHEN WEI及团队成员曾在世界知名的离子注入机公司担任核心技术岗位，负责和领导了多款成熟集成电路离子注入机的开发，拥有丰富的集成电路离子注入机的开发和市场经验，使得芯嵛公司目前的产品较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优。

离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备之一，近年来，全球离子注入机市场规模持续增长，预计2030年将达到42亿美元。

其中，大束流离子注入机占据较大市场份额，中低束流离子注入机和高能离子注入机也各有其应用领域。但基本为海外公司垄断，如应用材料、日本日新等，中国相关厂商包括北京烁科中科信电子装备有限公司、上海凯世通半导体股份有限公司和青岛四方思锐智能技术有限公司等。

《科创板日报》记者注意到，华海清科布局离子注入机领域早有先兆。

早在2023年，华海清科表示，为进一步巩固、强化产业链协同效应，完善公司业务布局，完成对芯嵛公司（上海）有限公司的增资事宜，公司持有其18%的股权。

华海清科表示，芯嵛公司是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商，公司可以通过本次收购较快实现对离子注入核心技术的吸收和转化，跨越式地完成产品和业务板块布局，提升公司核心竞争力。

巨丰投资首席顾问张翠霞在接受《科创板日报》采访时表示，这种收购参股子公司剩余股权的案例，从实际操作的角度来看，一般是通过前期参股，对目标公司的业务、市场前景等进行全面了解。一旦评估标的公司业务发展符合预期，然后根据市场变化情况，完成全资收购。

华海清科为高端半导体设备制造商，其主要产品包括CMP设备、减薄设备、供液系统、晶圆再生、关键耗材与维保服务。今年前三季度，其实现营收24.52亿元，同比增长33.22%；实现归母净利润7.21亿元，同比增长27.8%。截至12月25日早盘，其市值为409.53亿元。