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三星大幅减少未来生产NAND所需光刻胶使用量
《科创板日报》26日讯,三星已成功大幅减少3D NAND闪存生产光刻工艺中光刻胶的使用量。据消息人士透露,其已制定未来NAND的生产路线图,仅使用目前光刻胶量的一半。 (theelec)
光刻胶
半导体芯片
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