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ASML称次先进DUV出口需获得荷兰政府许可
《科创板日报》6日讯,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)在官网发布声明称,荷兰政府今日公布了浸润式DUV光刻机出口新规,自9月7日起生效。这意味着,ASML需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运TWINSCAN NXT:1970i和1980i DUV光刻机。此前,ASML最先进的浸润式DUV光刻机(即TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式DUV光刻机)已被限制,需要荷兰许可证才能发运。此外,ASML EUV光刻机的销售也需要许可证。
光刻机
半导体设备
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