财联社
财经通讯社
打开APP
15:05:46【电子束枪有望简化EUV光刻机】
《科创板日报》7日讯,荷兰国家应用科学研究院Stodolna等提出了一种能够产生氢等离子体的实验装置,以便进一步研究改进EUV光刻。之前的等离子体发生器非常复杂,需要大量资源,但该团队的装置非常简单,使用机的是市场上可买到的技术。他们的装置主要依靠高压、大电流电子束枪,该电子束枪可以产生短电子脉冲,通过电子撞击电离产生等离子体。在测试中,它能够再现EUV生成等离子体的关键参数。
光刻机 科技前沿资讯
财联社声明:文章内容仅供参考,不构成投资建议。投资者据此操作,风险自担。
2024-08-07 15:05:46 3682682 阅读
商务合作
专栏
相关阅读
评论
热度
最新
发送