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消息称台积电最快在2028年A14P制程启用High-NA EUV
《科创板日报》29日讯,半导体设备行业人士援引台积电制定的路线图指出,台积电A14制程将于2026年上半进行风险试产,最快2027年第3季量产,量产初期仍主要采用ASML第三代标准型EUV设备NXE:3800E。预计在2028年,A14制程的改良升级版A14P,将正式采用High-NA EUV,而在2030年后的A10制程中,将全面导入High-NA EUV。 (Digitimes)
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