《科创板日报》29日讯，半导体设备行业人士援引台积电制定的路线图指出，台积电A14制程将于2026年上半进行风险试产，最快2027年第3季量产，量产初期仍主要采用ASML第三代标准型EUV设备NXE:3800E。预计在2028年，A14制程的改良升级版A14P，将正式采用High-NA EUV，而在2030年后的A10制程中，将全面导入High-NA EUV。 (Digitimes)