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19:59:24【阿斯麦和IMEC联合光刻实验室启用】
财联社6月3日电,比利时微电子研究中心(IMEC)和阿斯麦6月3日宣布,由双方共同运营的High-NA EUV光刻实验室(High NA EUV Lithography Lab)在荷兰费尔德霍芬(Veldhoven)开幕,该实验室可提供High NA EUV扫描仪(TWINSCANEXE:5000)及周边处理工具。声明中称,该实验室的启用是为大批量生产High NA EUV做准备的一个里程碑,预计将于2025-2026年实现大批量生产。
财联社声明:文章内容仅供参考,不构成投资建议。投资者据此操作,风险自担。
光刻机
2024-06-03 19:59:24 3206187 阅读
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