《科创板日报》26日讯，东方晶源近日完成数亿元人民币股权融资，本轮投资方为深创投、赛领资本。东方晶源主要产品为纳米级检测装备和光刻机与制程优化系列软件产品。其中光刻机优化和计算光刻软件，采用CPU+GPU混合超算技术以及深度机器学习的建模和仿真技术。另外纳米级检测设备产品为国内首台电子束缺陷检测设备。