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【电报解读】鼓励发展光刻胶等高端半导体制造材料，其是光刻过程中重要核心材料，这家企业ArF光刻胶有两款产品通过客户验证

2023-10-27 13:49

【广州开发区、黄埔区：鼓励发展光刻胶、抛光材料、高纯靶材、光芯片等高端半导体制造材料】财联社10月27日电，《广州开发区广州市黄埔区促进集成电路产业发展办法》今日印发。其中提出，鼓励发展大硅片、光掩膜、电子气体、光刻胶、抛光材料、高纯靶材、光芯片等高端半导体制造材料，支持清洗设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入、沉积设备、封装设备（划片机、减薄机、引线键合机、倒装键合机及贴片机等）、检测设备（测试机、探针台等）以及单晶生长炉、外延生长炉等设备、关键零部件及工具国产化替代。对当年产值首次达到2000万元、5000万元、1亿元、3亿元、5亿元、10亿元的集成电路装备、材料、零部件类企业，经认定，分别给予20万元、50万元、100万元、200万元、300万元、500万元的扶持，同一企业按差额补足方式最高扶持500万元。

鼓励发展光刻胶等高端半导体制造材料，其是光刻过程中重要核心材料，未来市场规模或超120亿美元，这家企业ArF光刻胶有两款产品通过客户验证，还有多款产品正在下游客户处验证。

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