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芯碁微装:已完成90nm技术节点制版应用研发 首台光刻设备即将交付客户验证
《科创板日报》27日讯,芯碁微装在互动平台表示,公司130-90nm制版光刻设备,能够实现最小线宽350nm、CD均匀度10%,产能120min/片。2023年公司已完成了90nm技术节点制版应用的研发,首台设备即将交付客户验证。
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