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有研集团集成电路用高纯溅射靶材项目正式投产
《科创板日报》21日讯,有研集团日前宣布,其所属企业有研亿金新材料有限公司“集成电路用高纯溅射靶材项目”在山东德州正式投产。据悉,项目达产后将实现先进制程所需高端靶材规模化量产,公司此前开发的12英寸系列靶材已成功用于国内先进制程逻辑芯片和存储芯片。
半导体芯片
靶材
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