有研集团集成电路用高纯溅射靶材项目正式投产

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18:07 有研集团集成电路用高纯溅射靶材项目正式投产

《科创板日报》21日讯，有研集团日前宣布，其所属企业有研亿金新材料有限公司“集成电路用高纯溅射靶材项目”在山东德州正式投产。据悉，项目达产后将实现先进制程所需高端靶材规模化量产，公司此前开发的12英寸系列靶材已成功用于国内先进制程逻辑芯片和存储芯片。

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