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八亿时空:目前光刻胶树脂已有小批量出货
财联社3月20日电,八亿时空接受机构调研时表示,上海研发中心是公司半导体材料的研发基地,主要研发方向为光刻胶材料及聚酰亚胺材料。目前光刻胶树脂开发进展良好,已有小批量出货,KrF光刻胶开发进展良好。
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