《科创板日报》30日讯，清溢光电日前接受调研时表示，深圳工厂新引进的半导体芯片用掩膜版光刻机已经到位，但因疫情等因素影响，配套的清洗和检测设备交期较长，预计相关设备到位后将提升IC Bumping和MiniLED芯片用掩膜版等产品产能。平板显示用掩膜版技术方面，公司已实现8.5代高精度TFT用掩膜版及6代中精度AMOLED/LTPS用掩膜版的量产，初步实现了掩膜基板涂胶工艺的量产及半透膜掩膜版(HTM)产品的多家客户供货。